UHV增量式光栅

极低抖动，实现稳定的机器定位

TONiC™系列光栅采用了雷尼绍经过市场检验的光学滤波系统和先进的信号处理技术。自动增益控制 (AGC) 和自动偏置控制 (AOC) 技术可减少读数头内的模拟信号噪声和数字抖动。TONiC光栅提供 <±0.5 nm RMS的极低信号输出抖动和 <±30 nm的低电子细分误差 (SDE)，使系统能够更好地保持位置并在直线电机应用中产生更少的热量。

高分辨率，可达1 nm

当与可选的Ti接口配合使用时，TONiC™系列光栅可提供高达1 nm的超高分辨率。对于需要精确控制速度和位置的应用，此功能使TONiC成为此类应用的理想选择，尤其是在低速应用中。

超高真空和功能安全型号

TONiC™光栅可针对各种应用提供一体解决方案；TONiC与其特定型号TONiC UHV（用于超高真空应用）和TONiC FS（用于需要SiL2和PLd功能安全认证的系统）具有相同的优异测量能力。

栅尺选项

• 直线栅尺用于提供直线位置信息 — 通常是X轴、Y轴或Z轴位置。

• 圆光栅用于提供角度位置信息以及对旋转元件进行运动控制。

• 圆弧栅尺可卷绕在圆柱体、轴或圆弧上，用于测量旋转运动的圆弧。