UHV绝对式光栅

特性

• 由真空兼容材料和粘合剂制成，出气率低
• 残余气体分析 (RGA) 经验证不会污染真空环境
• 120 °C烘焙温度
• 非接触开放式光学系统提供高速、可靠的操作，摩擦和磨损均为零
• 无气密孔
• 高精度直线光栅和圆光栅系列

真正意义的绝对位置测量

RESOLUTE光栅系列可与单码道直线栅尺和圆光栅配用，实现绝对位置测量。该光栅在通电后无需任何移动便可立即获取位置信息。

高速和高分辨率

RESOLUTE光栅结合了先进的光学系统与创新的位置确定算法，能够以达到1 nm的精细分辨率和高达100 m/s (36,000 rpm) 的速度实现绝对位置测量。

优异的测量性能

RESOLUTE光栅系统可测量绝对位置，其具有±40 nm的低电子细分误差 (SDE) 和小于10 nm RMS的超低噪声（抖动），能够实现平稳的速度控制性能和可靠的位置稳定性。

栅尺选项

• 直线栅尺用于提供直线位置信息 — 通常是X轴、Y轴或Z轴。

• 圆光栅用于提供角度位置信息以及对旋转元件进行运动控制。

• 圆弧栅尺可卷绕在圆柱体、轴或圆弧上，用于测量旋转运动的圆弧。